RU EN
RU EN

18.00.00 Химические технологии

Фундаментальные основы процессов химического осаждения плёнок и структур для наноэлектроники отв. ред. Т.П. Смирнова

Фундаментальные основы процессов химического осаждения плёнок и структур для наноэлектроники

В монографии представлены результаты развития процессов химического осаждения из газовой фазы металлических и диэлектрических плёнок с использованием нетрадиционных летучих исходных соединений. Рассмотрены физико-химические свойства исходных соединений, изложены принципы выбора исходных соединений, основанные на исследовании их термодинамических свойств и термодинамическом моделировании MO CVD процессов. Дано описание наиболее важных для современной электроники и наноэлектроники материалов: металлических плёнок (Cu, Ni, Ru, Ir), диэлектрических плёнок с высоким (high-k) и низким (low-k) значением диэлектрической проницаемости. Проведён анализ химического и фазового состава и структуры простых и сложных оксидов на основе HfO2 (high-k диэлектрики), а также карбонитридов бора, карбонитридов и оксикарбонитридов кремния (low-k диэлектрики).

Основные процессы и аппараты химической технологии. Том 1 Касаткин А.Г.

Основные процессы и аппараты химической технологии. Том 1

В книге изложены основы курса «Процессы и аппараты химической технологии», читаемого в химико-технологических вузах.

К изучению тел с большими значениями коэффициента внутреннего трения. 8. Внутреннее трение асфальта Милорадов А., Толмачев Н.А.

К изучению тел с большими значениями коэффициента внутреннего трения. 8. Внутреннее трение асфальта

Научно-техническое издание начала XX в. по материаловедению.

Об инвариантных системах и о закономерности состава некоторых эвтектик: отдельный оттиск из журнала «Русского физико-химического общества» Горбов А.

Об инвариантных системах и о закономерности состава некоторых эвтектик: отдельный оттиск из журнала «Русского физико-химического общества»

Научная статья начала XX в. по физической химии.

Общая химическая технология топлива Кафтанов С.В.

Общая химическая технология топлива

В книге изложены основы курса «Общая химической технологии», читаемого в химико-технологических вузах.

Основные процессы и аппараты химической технологии. Том 2 Касаткин А.Г.

Основные процессы и аппараты химической технологии. Том 2

В книге изложены основы курса «Процессы и аппараты химической технологии», читаемого в химико-технологических вузах.

Добавление к статье С.И. Монстрова «Попытка определения некоторых механических свойств асфальта» Вейнберг Б.П.

Добавление к статье С.И. Монстрова «Попытка определения некоторых механических свойств асфальта»

Научное издание начала XX в. по сопротивлению материалов и дорожному строительству.

Исследование систем, образованных замещенными бензолами с треххлористой и трехбромистой сурьмой Меншуткин Б.Н.

Исследование систем, образованных замещенными бензолами с треххлористой и трехбромистой сурьмой

Научная статья начала XX в. по элементоорганической химии.

К изучению тел с большими значениями коэффициента внутреннего трения. 6. Попытка определения некоторых механических свойств асфальта Монстров С.И.

К изучению тел с большими значениями коэффициента внутреннего трения. 6. Попытка определения некоторых механических свойств асфальта

Научно-техническое издание начала XX в. по материаловедению.

О некоторых производных 1,4-хлор-метил-антрахинона и 1,4-хлор-антрахинон-карбоновой кислоты Минаев В.И.

О некоторых производных 1,4-хлор-метил-антрахинона и 1,4-хлор-антрахинон-карбоновой кислоты

Научное издание начала XX в. по органической химии и химической технологии.

Библиотека промышленных знаний. Том 19. Часть 4. Химическая технология волокнистых веществ. Беление, крашение и ситцепечатание

Библиотека промышленных знаний. Том 19. Часть 4. Химическая технология волокнистых веществ. Беление, крашение и ситцепечатание

Справочное издание по видам промышленности и технологиям.

Исследование в области амино-, имино- и нитрило-кислот Стадников Г.Л.

Исследование в области амино-, имино- и нитрило-кислот

Научное издание начала XX в. по органической химии.

Химическая технология Бунге Н.А.

Химическая технология

Учебное пособие конца XIX в.

К вопросу о действии азотной кислоты на углеводороды предельного характера Наметкин С.С.

К вопросу о действии азотной кислоты на углеводороды предельного характера

Научное издание начала XX в. по органической химии.

Библиотека промышленных знаний. Том 15. Часть 8: Эфирные масла. Получение, описание и исследование Менделеев Д.И., Дебу К.И.

Библиотека промышленных знаний. Том 15. Часть 8: Эфирные масла. Получение, описание и исследование

Справочное издание по видам промышленности и технологиям.

Индивидуальные магний-органические соединения и их превращения в оксониевые и аммониевые комплексы: экспериментальное исследование Челинцев В.В.

Индивидуальные магний-органические соединения и их превращения в оксониевые и аммониевые комплексы: экспериментальное исследование

Научные архивные материалы начала XX в. по элементоорганической химии.

Кое-что о бензине, толуэне и антрацене Теплов М.Н.

Кое-что о бензине, толуэне и антрацене

Научное издание конца XIX в. по органической химии.