RU EN
RU EN
Неравновесная плазма хлора : свойства и применение Ефремов А. М., Светцов В. И.

Неравновесная плазма хлора : свойства и применение

Ефремов А. М., Светцов В. И.

Физматлит 2013 г. 216 страниц

В книге рассмотрены результаты экспериментального и теоретического исследования кинетики и механизмов физико-химических процессов в неравновесной низкотемпературной плазме хлора и его смесей с инертными и молекулярными газами.Проанализировано влияние внешних параметров разряда на энергетическое распределение электронов, транспортные и кинетические характеристики электронного газа. Проведен анализ кинетики нейтральных и заряженных частиц; установлены взаимосвязи задаваемых параметров плазмы и начального состава плазмообразующих смесей со стационарными концентрациями активных частиц и плотностями их потоков на поверхность, ограничивающую зону плазмы. Приводятся результаты исследований кинетических закономерностей и механизмов взаимодействия активных частиц плазмы с рядом металлов и полупроводников.Книга предназначена научно-техническим работникам в области неравновесной плазмохимии и плазмохимической технологии, а также студентам и аспирантам соответствующих специальностей.

Пролистать

Для бесплатного просмотра доступны первые 7 страниц

Купить доступ

Доступ к 1 021 книгам раздела Химия от 34.95 $

Содержание

  • Введение
  • Литература
  • Глава 1. Методические вопросы исследования параметров плазмы и гетерогенных плазменных процессов
  • § 1.1. Общая характеристика экспериментальных установок и оборудования
  • § 1.2. Получение газов и приготовление газовых смесей
  • § 1.3. Определение температуры нейтральных невозбужденных частиц
  • § 1.4. Определение приведенной напряженности электрического поля
  • § 1.5. Измерение концентраций нейтральных невозбужденных частиц
  • § 1.6. Измерение плотности потока положительных ионов на стенку реактора
  • § 1.7. Объекты исследования и измерение скоростей травления
  • § 1.8.Моделирование плазмы
  • § 1.9. Гетерогенные процессы травления в условиях ННГП: основные понятия и подходы к анализу
  • Литература
  • Глава 2. Параметры плазмы и закономерности образования и гибели активных частицп ри разряде в хлоре
  • § 2.1. Кинетическая схема процессов в плазме хлора
  • § 2.2. Сечения процессов под действием электронного удара
  • § 2.3. Результаты экспериментального исследования ННГП в хлоре. Электрофизические параметры плазмы
  • § 2.4. Кинетика образования и гибели нейтральных частиц. Стационарный массовый состав нейтральной компоненты газовой фазы
  • § 2.5. Кинетика образования и гибели заряженных частиц. Массовый состав ионной компоненты газовой фазы
  • § 2.6. Излу чение разряда в хлоре
  • § 2.7. Потоки активных частиц на поверхность и механизмы травления в хлорной плазме
  • Заключение
  • Литература
  • Глава 3. Механизмы образования и гибели активных частиц в плазме смесей хлора с Ar, N2, H2 и O2
  • § 3.1. Результаты экспериментального исследования плазмы бинарных смесей хлора с Ar, N2, H2 и О2
  • § 3.2. Электрофизические и кинетические параметры плазмы в смеси хлор–аргон
  • § 3.3. Электрофизические и кинетические параметры плазмы в смеси хлор–азот
  • § 3.4. Электрофизические и кинетические параметры плазмы в смеси хлор–кислород
  • § 3.5. Электрофизические и кинетические параметры плазмы в смеси хлор–водород
  • § 3.6. Анализ возможных механизмов влияния начального состава смеси на скорость травления
  • Заключение
  • Литература
  • Глава 4. Кинетика и механизмы травления Cu, GaAs и Si в плазме хлора и его смесей с Ar, N2, H2 и O2
  • § 4.1. Кинетика и механизмы травления Cu в плазме Cl2 и Cl2/Ar
  • § 4.2. Кинетика и механизмы травления GaAs в плазме Cl2 и в смесях Cl2/Ar, Cl2/N2, Cl2/O2 и Cl2/H2
  • § 4.3. Кинетика и механизмы травления монокристаллического кремния в плазме Cl2 и в смеси Cl2/Ar
  • Заключение: анализ механизмов влияния начального состава смеси на скорость травления
  • Литература